【摘 要】
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采用湿化学方法对硅片背面抛光钝化,研究背腐蚀对硅片各项性能、电池电性能的影响.通过分析腐蚀后硅片表面形貌、反射率及电池电性能的变化,发现腐蚀降低了硅片表面粗糙度,增
【机 构】
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英利能源(中国)有限公司,光伏材料与技术国家重点实验室,保定天威英利新能源有限公司
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采用湿化学方法对硅片背面抛光钝化,研究背腐蚀对硅片各项性能、电池电性能的影响.通过分析腐蚀后硅片表面形貌、反射率及电池电性能的变化,发现腐蚀降低了硅片表面粗糙度,增大背面反射率,内量子效率中长波光的响应增强;抛光使得金字塔棱角变得更平滑,降低硅片表面电子空穴复合速率,增大了有效少子寿命,开路电压和短路电流密度分别增加了3 mV和0.3J/cm2,电池效率提升了0.3％,最高可达到19.5％.
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