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本文简述了压电非线性产生的原因及用电荷控制法实现纳米分辨率线性控制的机理，并提出采用谐波线性化方法在实现线性化控制的同时提高系统的动态特性。
压电微定位系统的纳米分辨率线性化控制
【摘 要】
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本文简述了压电非线性产生的原因及用电荷控制法实现纳米分辨率线性控制的机理，并提出采用谐波线性化方法在实现线性化控制的同时提高系统的动态特性。
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所,广东工业大学自动化所
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1999年1期
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