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光盘录刻系统的一个重要参数是系统的最小可能焦斑尺寸。本文描述一种测量亚微米级焦斑的方便而精确的测量技术。测试装置包括对焦及微调机构;刀口/光检测器扫描部分和光栅读数刀口定位部分。
微光斑尺寸测试技术
【摘 要】
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光盘录刻系统的一个重要参数是系统的最小可能焦斑尺寸。本文描述一种测量亚微米级焦斑的方便而精确的测量技术。测试装置包括对焦及微调机构;刀口/光检测器扫描部分和光栅读
【机 构】
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上海市激光技术研究所; 上海市激光技术研究所;
【出 处】
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应用激光
【发表日期】
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1985年01期
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