【摘 要】
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等离子体的电子密度分布,电子碰撞频率分布,覆盖面积,厚度是影响其覆盖目标电磁散射特征的关键属性.对此,本文开展了在20 cm×20 cm×7 cm石英腔内感性耦合等离子体（I
【机 构】
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空军工程大学航空等离子体动力学国防科技重点实验室,空军工程大学航天航空工程学院
【基金项目】
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国家自然科学基金(批准号:11472306)资助的课题~~
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等离子体的电子密度分布,电子碰撞频率分布,覆盖面积,厚度是影响其覆盖目标电磁散射特征的关键属性.对此,本文开展了在20 cm×20 cm×7 cm石英腔内感性耦合等离子体（ICP）的放电实验,观察了在高气压条件下,空气ICP的环形放电形态,E-H模式跳变现象和分层结构,测量了其电负性核心区和电正性边缘区宽度和厚度随功率、气压的变化趋势,并通过COMSOL Multiphysics对平板线圈磁场强度分布的分析和电负性气体扩散理论给予上述现象合理的解释,同时,利用微波透射干涉法测量了核心区
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