溅射Nb-Ge膜的研究

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A15 Nb_3Ge化合物,仍是目前已发现的超导转变温度最高的超导体,但其Tc的高低与制各方法密切相关;用电弧熔炼的大块材料,Tc在6K附近,但Matthias等使用快速淬火的办法,可制备Tc~17K的样品,用薄膜淀积技术,可成功的制备高Tc的A15 Nb_3Ge样品。 1973年,Gavaler首先用高Ar气压力下直流溅射技术,获得高Tc Nb_3Ge。之后,许多 A15 Nb_3Ge compound is still the superconductor with the highest superconducting transition temperature at present. However, the Tc level is closely related to each method. The bulk material with arc melting has a Tc near 6K, but Matthias et al. Use rapid quenching Method can be prepared Tc ~ 17K samples, thin film deposition technology can be successfully prepared high Tc A15 Nb_3Ge samples. In 1973, Gavaler first obtained high Tc Nb_3Ge by DC sputtering under high Ar pressure. After that, many
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