【摘 要】
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为探究1,2,4–三氮唑(TAZ)和苯并三氮唑(BTA)对316L不锈钢化学机械抛光(CMP)的影响及作用机理,在酸性条件下使用TAZ或BTA为缓蚀剂化学机械抛光316L不锈钢,用白光干涉仪观测31
【机 构】
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江南大学机械工程学院,无锡商业职业技术学院机电技术学院
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(51675232)
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为探究1,2,4–三氮唑(TAZ)和苯并三氮唑(BTA)对316L不锈钢化学机械抛光(CMP)的影响及作用机理,在酸性条件下使用TAZ或BTA为缓蚀剂化学机械抛光316L不锈钢,用白光干涉仪观测316L不锈钢抛光后的表面质量,用红外光谱仪表征缓蚀剂的结构,用接触角测量仪检测抛光表面钝化膜的疏水性能,并用电化学工作站分析缓蚀剂的抑制效果和类型。结果表明:不锈钢材料去除率随TAZ或BTA含量的增大而减小。当TAZ浓度为3 mmol/L时,不锈钢表面粗糙度最低,为2.64 nm;BTA浓度为2 mmol/L时,
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