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概述微光电子机械系统（MOEMS）技术发展历史，分析其现状。以美国陆军研究开发和工程指挥部的“战略研究规划”中的7个研究领域为例，分析MOEMS技术应用潜力和未来发展趋势。提出现在MOEMS工程遇到的技术挑战：MOEMS加工工艺，达到全反射的光学表面的加工工艺，可与电子线路和MOEMS集成兼容的CMOS半导体材料，MOEMS器件的组装。