【摘 要】
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原子层沉积氧化铝已经成为应用于钝化发射极和背面点接触(PERC)型晶硅太阳能电池优异的钝化材料.对于基于丝网印刷技术的太阳能电池,钝化材料的钝化效果及其热稳定性是非常重
【机 构】
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尚德太阳能电力有限公司; 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室;
【基金项目】
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国家自然科学基金(批准号:60821092,U1037604);上海市启明星计划(批准号:11QB1406800);上海技术物理研究所创新项目(批准号:Q-ZY-51)资助的课题~~
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原子层沉积氧化铝已经成为应用于钝化发射极和背面点接触(PERC)型晶硅太阳能电池优异的钝化材料.对于基于丝网印刷技术的太阳能电池,钝化材料的钝化效果及其热稳定性是非常重要的.本文在太阳能级硅片上用热原子层沉积设备制备了20nm和30nm的氧化铝,少子寿命测试结果显示初始沉积的氧化铝薄膜具有一定的钝化效果,在退火后可达到100μs以上,相当于硅表面复合速度小于100cm/s.经过制备传统晶硅太阳能电池的烧结炉后,少子寿命能够保持在烧结前的一半以上,可应用于工业PERC型电池的制备.通过电子显微镜观察到了较厚的氧化铝薄膜有气泡,解释了30nm氧化铝比20nm氧化铝钝化性能和稳定性更差的异常表现.
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