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本文对电子气体净化器的结构、分类、净化指标进行了分析,并讨论了柱体材料、过滤材料和净化材料的选择问题,在此基础上,总体性概括了国内外现状和发展前景,推进电子气体超高纯度净化技术的全面国产化,为集成电路国产化国家战略提供源头支撑.
电子气体净化器现状与趋势
【摘 要】
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本文对电子气体净化器的结构、分类、净化指标进行了分析,并讨论了柱体材料、过滤材料和净化材料的选择问题,在此基础上,总体性概括了国内外现状和发展前景,推进电子气体超高
【机 构】
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浙江巨化股份有限公司,浙江衢州324004;浙江师范大学先进催化材料教育部重点实验室,浙江321004浙江巨化股份有限公司,浙江衢州324004
【出 处】
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全国特种气体第十八次年会
【发表日期】
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2014年11期
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