【摘 要】
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非球面光学元件检测中,获得准确的面形信息是实现元件确定性制造的关键因素之一。在无像差点法检测离轴非球面中,为了实现反射镜的高精度检测,对其干涉检测结果中的误差信息
【机 构】
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中国科学院西安光学精密机械研究所,中国科学院研究生院
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非球面光学元件检测中,获得准确的面形信息是实现元件确定性制造的关键因素之一。在无像差点法检测离轴非球面中,为了实现反射镜的高精度检测,对其干涉检测结果中的误差信息进行了分析。利用偏心光学系统的波像差分析方法,分析了在非球面检测系统中,被测镜的调整误差对系统波像差的影响,建立了调整误差分离的数学模型。利用该模型对离轴非球面反射镜进行实际的调装实验,经过四次调整,被测离轴二次非球面的最终检测的方均根结果为0.037λ（λ=0.6328μm）,有效地提高了检测效率。
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