论文部分内容阅读
采用SEM、EDX、XRD测试手段对沉积炉壁产物进行了分析,结果表明:低温区沉积的SiC涂层全为β-SiC;高温区SiC涂层中含有少量的游离态Si和α-SiC;高温区SiC颗粒的形核和生长速率大于低温区;所以温度是影响化学气相沉积SiC涂层组成及显微结构的主要因素.
炉温对化学气相沉积SiC涂层组成及显微结构的影响
【摘 要】
：
采用SEM、EDX、XRD测试手段对沉积炉壁产物进行了分析,结果表明:低温区沉积的SiC涂层全为β-SiC;高温区SiC涂层中含有少量的游离态Si和α-SiC;高温区SiC颗粒的形核和生长速率
【机 构】
：
国防科技大学航天与材料工程学院
【出 处】
：
国防科技大学学报
【发表日期】
：
2002年6期
其他文献
为解决鱼用疫苗注射器的设计与试制过程中需要多次改动模型、重复劳动较多的问题,基于Solidworks二次开发技术和数据库技术,采用C#编程语言开发了一种气动鱼用疫苗注射器底座
目的观察加味补阳还五汤灌胃对兔膝骨关节炎的治疗作用,并探讨其作用机制。方法将24只健康新西兰兔随机分为正常组、模型组、壮骨关节丸组、加味补阳还五汤组各6只。除正常组
以玉米淀粉为原料,采用酯化变性的方法制备柠檬酸酯淀粉。分析了制备出的柠檬酸酯淀粉的吸热焓以及糊化特性,并分别利用扫描电镜和红外光谱分析了柠檬酸酯淀粉的表面特征和红