【摘 要】
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我国目前生产集成电路用硅圆片直径已经历了1英寸、2英寸、3英寸、5英寸而发展到今天的8至12英寸。美国最先进的集成电路生产线已开始采用12英寸硅片、0.13微米芯片的工艺技
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我国目前生产集成电路用硅圆片直径已经历了1英寸、2英寸、3英寸、5英寸而发展到今天的8至12英寸。美国最先进的集成电路生产线已开始采用12英寸硅片、0.13微米芯片的工艺技术。 至2000年底前,我国共有1条8英寸生产线,3条6英寸线,6条5英寸线,15条4英寸线。到2002年9月,已有3条8
At present, the diameter of silicon wafer used in the production of integrated circuits in our country has gone through 1 inch, 2 inches, 3 inches and 5 inches and has grown to 8 to 12 inches today. The most advanced integrated circuit production line in the United States has begun to use 12-inch silicon, 0.13-micron chip technology. By the end of 2000, there were a total of one 8-inch production line, three 6-inch lines, six 5-inch lines and 15 4-inch lines in our country. As of September 2002, there are three 8
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