【摘 要】
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高频电磁场在硅棒表面(即熔区表面)的分布状况决定了热场热源的分布条件。本文拟就生产实践中提出的有关加热线圈结构形状与电磁场在熔区表面的分布、冷针及腰带等问题逐一
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高频电磁场在硅棒表面(即熔区表面)的分布状况决定了热场热源的分布条件。本文拟就生产实践中提出的有关加热线圈结构形状与电磁场在熔区表面的分布、冷针及腰带等问题逐一试加分析。
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