【摘 要】
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<正> 静电看不见。20世纪60年代,随着对静电非常敏感的MOS器件的出现,静电危害问题凸现出来了;到70年代静电危害问题日益严重;80～90年代,随着集成电路的密度越来越大,二氧化硅
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<正> 静电看不见。20世纪60年代,随着对静电非常敏感的MOS器件的出现,静电危害问题凸现出来了;到70年代静电危害问题日益严重;80～90年代,随着集成电路的密度越来越大,二氧化硅膜的厚度越来越薄(薄至纳米级),其所能承受的静电电压越来越低,而产生和积累静电的材料(如塑料,橡胶等)又大量使用,使得静电普遍存在,已成为电子电器工业的隐形杀手。仅美国电子工业,现每年因静电造成的损失便达几百亿美元。
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