【摘 要】
：
针对空洞层上硅工艺在制作高质量的单晶硅感压膜和真空密封腔上的优势,提出了将其应用于制作电容式绝对压力传感器。应用板壳理论建立了传感器压力检测的理论膜型,对传感器的
【基金项目】
：
国家自然科学基金资助项目(51575248),江苏大学高级人才基金资助项目(1291110040).
论文部分内容阅读
针对空洞层上硅工艺在制作高质量的单晶硅感压膜和真空密封腔上的优势,提出了将其应用于制作电容式绝对压力传感器。应用板壳理论建立了传感器压力检测的理论膜型,对传感器的感压膜进行理论计算和有限元仿真,并利用电容变化模型分析了传感器的灵敏度。给出了基于Pcap01芯片的微电容检测系统的设计,对于半径为100μm,厚度为1. 7μm的圆形感压膜,初始电容值为0. 278 p F,传感器灵敏度为0. 86 f F/k Pa。
其他文献
本文归纳和总结近年来中医治疗冠心病的方法以及疗效的相关文献,反映此研究的最新研究水平。方法:总结中医治疗冠心病的方法以及疗效。结果:中医治疗冠心病的临床方法多样,疗
基于2018年中国家庭追踪调查,利用多元回归模型,通过设置是否参加保险,实证分析了医疗保险制度对于居民医患信任的影响程度。研究认为:从整体上看,参加医疗保险能够提高居民
肠易激综合征(IBS)是常见的与排便相关的功能性疾病,表现为反复发作的腹部不适同时伴有排便习惯的改变。IBS的发病机制尚不明确,目前认为与胃肠动力障碍、内脏高敏感、肠道感
高性能黑体辐射源是高精度复现辐射温度的关键装置。采用有限体积法(FVM)模拟计算了黑体空腔积分发射率,其结果与Monte-Carlo法(MCM)计算结果吻合良好,且在高发射率时较MCM能
《诗经》句式以四言为主,杂言为辅。但不为研究者注意的是,《诗经·唐风》中却保留了大量长短不一的句式,其杂言句式所占比例在《诗经》各部分内容中最高。这种杂言句式
介绍了一起某变电站220 kV设备区组合电器断路器气室发生大规模低气压报警及闭锁事件,对其故障原因进行分析,发现断路器气室伴热带由于设计及工艺原因,导致不能正常运行加热,