【摘 要】
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流量是工业检测重要参数之一。流量检测技术随着微机械电子系统（MEMS）技术的发展与应用,向着小型化、高精度、智能化的方向发展。基于MEMS技术设计了一种梁膜结合的压差式流量
【机 构】
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长安大学工程机械学院,西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室
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流量是工业检测重要参数之一。流量检测技术随着微机械电子系统（MEMS）技术的发展与应用,向着小型化、高精度、智能化的方向发展。基于MEMS技术设计了一种梁膜结合的压差式流量传感器结构,分析了其基本工作原理,采用硅微加工工艺对传感器进行了流片加工,然后对封装完成的传感器样机进行了气流和水流静态性能测试。气流测试灵敏度为0.3508mV/(ms-1)2,测试基本精度为0.5885%FS;水流测试灵敏度为41.5241mV/(ms-1)2,测试基本精度为0.9323%FS。结果表明,所设计传感器具有较高的灵敏度与基本精度,从而能完成流量信号的检测。
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