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该文简介了高可靠集成电路SOI的主要制造技术,探讨了其特殊性能,并展望了其诱人的应用前景.
21世纪高可靠硅集成电路新技术应用展望
【摘 要】
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该文简介了高可靠集成电路SOI的主要制造技术,探讨了其特殊性能,并展望了其诱人的应用前景.
【机 构】
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信息产业部794厂
【出 处】
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电子质量
【发表日期】
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2003年5期
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