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采用Li3PO4为靶材，在高纯N2气氛中通过射频磁控溅射的方法制备了非晶态结构的固态电解质Li-PON薄膜。结果表明，在溅射功率150W、工作气压为1．5Pa时，LiPON薄膜离子电导率达3×10^-6S／cm，电化学稳定窗口为5V。
固态薄膜电解质LiPON的制备及性能研究
【摘 要】
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采用Li3PO4为靶材，在高纯N2气氛中通过射频磁控溅射的方法制备了非晶态结构的固态电解质Li-PON薄膜。结果表明，在溅射功率150W、工作气压为1．5Pa时，LiPON薄膜离子电导率达3×
【机 构】
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国防科学技术大学航天与材料工程学院
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2006年F11期
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