【摘 要】
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激光雷达是激光探测及测距系统的简称，它可以发射定位激光束，通过测定传感器、发射器与目标物体之间的传播距离来定位目标物体的位置，并呈现目标物体的三维结构信息。InGaAs是一种典型的Ⅲ-V族半导体材料，它在（0.35～1.42）eV范围内可调的禁带宽度使其在（0.9～1.7）μm波段具有广泛的应用，被认为是1 550 nm激光雷达探测器的理想材料。本文综述基于InGaAs的激光雷达光电探测器的器件结
【基金项目】
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国家自然科学基金（62074048）；
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激光雷达是激光探测及测距系统的简称，它可以发射定位激光束，通过测定传感器、发射器与目标物体之间的传播距离来定位目标物体的位置，并呈现目标物体的三维结构信息。InGaAs是一种典型的Ⅲ-V族半导体材料，它在（0.35～1.42）eV范围内可调的禁带宽度使其在（0.9～1.7）μm波段具有广泛的应用，被认为是1 550 nm激光雷达探测器的理想材料。本文综述基于InGaAs的激光雷达光电探测器的器件结构、光电特性及InGaAs焦平面光电探测器在激光雷达探测领域的研究进展。目前，基于InGaAs光电探测器的最大响应度达0.57 A/W，最低暗电流低于0.75 pA/μm~2，焦平面阵列已经发展到1 280×1 024，像元间距15μm。InGaAs近红外激光雷达探测器的响应波段位于1 550 nm，具有人眼安全、发射激光功率大、大气透过率高等优势，探测距离可达150 m，大视野120°×25°，在高阶辅助驾驶、无人驾驶、服务机器人等领域具有较大的应用潜力。
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