用二坐标测量仪测量长度时采用干涉条纹对孔壁的光学触测

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在东德蔡司厂生产的 ZKM 系列二坐标测量仪和 BK70×50测量显微镜上都采用了光干涉条纹触测法,这种方法在许多情况下也能用于触测孔壁。下面将详细介绍这种方法在测孔中的应用。一、光学测量技术原理:采用干涉条纹的触测方法,首先要有一台测量显微镜(图1),并由与光轴倾斜成 u 角的 Optical interference fringe touch detection is used on the ZKM series of CMMs and BK70 × 50 measuring microscopes manufactured by the Zeiss AG in East Germany. This method can also be used to touch the hole wall in many cases. The following will describe in detail the method of measuring holes in the application. First, the principle of optical measurement technology: The interference fringe touch detection method, we must first have a measuring microscope (Figure 1), tilted at an angle of u with the optical axis
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