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本文采用萃取色谱法,以Cyanex272负载树脂为固定相制成微型分离柱,以HCl为淋洗液,研究了Nd2O3基体的分离条件,分离周期为35min.建立了分离Nd后测定Tb、Dy、Ho以及内标补偿法直接测定其它稀土杂质的高纯Nd2O3中14个稀土杂质的ICP-MS分析方法.方法检出限为0.03μg/g~0.30μg/g,加标回收率为91.0﹪~110.0﹪,相对标准偏差为2.0﹪~4.9﹪.方法可满足快速测定99.999﹪Nd2O3中14个稀土杂质的要求.