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采用SEM、EPMA、XRD及显微硬度计对 3种钛合金TA2、TB5及TC1 1的高温渗氧行为进行了研究。结果表明 ,同一条件下 ,纯钛 (TA2 )的氧化膜较薄 ;β钛合金 (TB5 )形成较厚的氧化膜 ,有贫铝区形成 ;α/ β双相钛合金 (TC1 1 )的氧化膜很薄且致密。 3种钛合金中均存在较厚的氧在α相中的扩散固溶层且显微硬度得到提高。 3种钛合金的氧化动力学曲线均呈抛物线型。利用扩散和固溶原理对渗氧的不同机理进行了探讨