【摘 要】
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设计了基于振幅型棋盘光栅的二维剪切干涉仪,用于测量大数值孔径（NA）物镜的波像差。研究了棋盘光栅剪切干涉仪的基本原理,分析了大数值孔径物镜波像差测量时涉及的几个特殊问题
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所,电子科技大学,中国科学院大学
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设计了基于振幅型棋盘光栅的二维剪切干涉仪,用于测量大数值孔径（NA）物镜的波像差。研究了棋盘光栅剪切干涉仪的基本原理,分析了大数值孔径物镜波像差测量时涉及的几个特殊问题。首先,根据棋盘光栅的远场衍射函数分析了棋盘光栅的衍射效率和衍射级分布,给出了剪切干涉图数据的处理方法。接着,根据球面光瞳坐标与平面探测器坐标的投影关系,分析了光瞳坐标畸变的影响;采用几何光线追迹方法,分析了光栅方程非线性对系统误差的影响。最后,推导了物镜光瞳边缘的相对照度与数值孔径的关系。试验结果表明：采用相同光瞳坐标,NA为0.6的显微
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