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提出利用光刻定位自组装填充的方法制作纳米金属列阵．在平面基板上通过光刻手段制作具有列阵微区的定位模板，再利用单分散聚苯乙烯纳米球在微区里进行自组装，得到单层规则排布的纳米球结构；进一步沉积金属后，通过去牺牲层工艺去除球体，可得到呈六角形分布的纳米金属列阵结构；最后对获得的纳米金属列阵结构的形貌和光学性能进行分析，给出金属纳米列阵结构的电子显微镜照片和消光谱．