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采 用不同Al含量的TVAl合金靶材在硬质合金刀具上沉积TiAlN薄膜,研究靶材中不同的Al含量对 TiAlN 薄膜表面粗糙度、硬度以及膜基结合力等性能的影响,通过显微硬度仪、划痕仪、金相显微镜和XRD 等仪器 分别对薄膜的硬度、结合力、组织结构等主要性能进行测试分析.实验结果表明：随着Ti/Al合金靶中Al含量的增 加, TiAlN薄膜的硬度先增加后减小,膜基结合力逐渐增加;当 Al在 Ti/Al合金靶材中所占的比值为2 ： 3 时, TiAlN 薄膜的硬度、耐磨性等综合力学性能最佳.