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硅片抗弯强度测试方法中小挠度问题研究
硅片抗弯强度测试方法中小挠度问题研究
来源 :中南工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liongliong577
【摘 要】
:
推导了圆片冲击法测试硅片抗弯强度时最大挠度的计算公式.通过薄硅片抗弯强度的测试实验,对因不符合小找度假设产生的误差进行了实验校准,并研究了挠度、厚度比ω/δ与校准系数K的
【作 者】
:
谢书银
石志仪
【机 构】
:
中南工业大学应用物理与热能工程系
【出 处】
:
中南工业大学学报
【发表日期】
:
1996年2期
【关键词】
:
抗弯强度
小挠度
硅片
测试法
silicon
flexcure strength
little deflection
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推导了圆片冲击法测试硅片抗弯强度时最大挠度的计算公式.通过薄硅片抗弯强度的测试实验,对因不符合小找度假设产生的误差进行了实验校准,并研究了挠度、厚度比ω/δ与校准系数K的关系.结果表明,符合小挠度假设的范围是ω/δ≤1/7.
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