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报导了采用高速、高精度、低噪声的数模转换器设计扫描电子显微镜的扫描电路,其扫描速率可达到每秒106像素,讨论了电路中的噪声对图像分辨率的影响,提出了一种矫正扫描线圈电感所引起的电流非线性的方法,应用到扫描电子显微镜DXP-10中,得到了较好的扫描图像.
扫描电子显微镜的扫描电路研制
【摘 要】
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报导了采用高速、高精度、低噪声的数模转换器设计扫描电子显微镜的扫描电路,其扫描速率可达到每秒106像素,讨论了电路中的噪声对图像分辨率的影响,提出了一种矫正扫描线圈电
【机 构】
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上海师范大学数理学院
【出 处】
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上海师范大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2012年2期
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