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本文将重点介绍ＤＹ－５型电子束暴光机的偏转系统的构成、特点及结果。
DY—5型亚微米电子束暴光机偏转系统
【摘 要】
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本文将重点介绍ＤＹ－５型电子束暴光机的偏转系统的构成、特点及结果。
【机 构】
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中国科学院电工研究所
【出 处】
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电工电能新技术
【发表日期】
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1996年3期
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