【摘 要】
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微力传感器设计包括传感器的结构设计和外围电路设计。在对材料、结构形式综合分析的基础上设计了 35CrMnSiA的环形弹性元件,35CrMnSiA材料常用于高精度传感器,应变较大,可达
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微力传感器设计包括传感器的结构设计和外围电路设计。在对材料、结构形式综合分析的基础上设计了 35CrMnSiA的环形弹性元件,35CrMnSiA材料常用于高精度传感器,应变较大,可达1．0×10-3-1．5×10-3环形弹性元件具有结构简单、稳定、自振频率高和灵敏度高的特点。通过Abacus有限元软件进行分析优化,确定了应变片的粘贴部位,且在最大力作用下,传感器仍满足应变、应力校正。对35CrMnSiA块料进行淬火热处理和中温回火,采用线切割方法加工成形。外围电路设计包括零位调整、温度补偿以及放大功能的电路设计,它保证传感器具有高精度。在静态工作状况下,通过试验的方法对传感器加以标定,最终传感器的主要静态特性值为:迟滞0．64％、重复性0．45％以及线性度0．55％,传感器达到精密级水平,满足设计要求。
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