SiGe HBT ^60Coγ射线辐照效应及退火特性

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhangyong09
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研究了国产SiGe异质结双极晶体管(HBT)^60Coγ射线100Gy(Si)-10kGy(Si)总剂量辐照后的辐照效应及辐照后的退火特性.测试了辐照及退火后的直流电参数.实验结果显示,辐照后基极电流(Ib)明显增大,而集电极电流(Ic)基本不变,表明Ib的增加是电流增益退化的主要原因.退火结果表现为电流增益(β=Ic/Ib)继续衰降,表明SiGeHBT具有“后损伤”效应.对其机理进行了探讨,结果表明其主要原因是室温退火中界面态继续增长引起的.
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