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在半导体器件可靠性中,芯片粘结力不足而引起分层的问题是经常发生。文中重点基于不同固化温度、时间对芯片粘结力的影响进行试验、分析,从而在不改变材料配方和型号的前提下选用合适的固化条件,达到提高芯片粘结力的目的。
不同固化条件对芯片粘结力的影响分析
【摘 要】
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在半导体器件可靠性中,芯片粘结力不足而引起分层的问题是经常发生。文中重点基于不同固化温度、时间对芯片粘结力的影响进行试验、分析,从而在不改变材料配方和型号的前提下
【机 构】
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通富微电子股份有限公司
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2017年11期
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