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介绍了星用高精度压力传感器的技术要求、工作原理、结构设计与电路设计及试验结果；对研制过程中的关键技术及解决方法进行了探讨．传感器是依据硅微压阻效应原理，采用相关半导体平面工艺技术、微机械加工技术以及电子线路中信号调理与补偿技术，将压力敏感元件与调理电路一体化封装在壳体内．传感器具有非线性好、工作温度范围宽、抗冲击过载、性能稳定可靠等特点．