基于纳米压印技术制作的线偏振蓝光LED

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提出一种准确计算LED偏振度(PR)的方法,并采用纳米压印技术制作了线偏振蓝光LED。方法考虑了LED朗伯型发光,计算整个半平面入射光透过光栅的TM模在TE和TM模中所占百分比。详细分析了光栅材料、光栅周期、占空比和光栅高度等对PR的影响,结果表明,当Al金属光栅周期为150nm、占空比为0.5和光栅高为120nm时,PR几乎为1;利用纳米压印技术结合感应耦合等离子刻蚀技术,制作了铝金属光栅。实际测试结果表明,将蓝光LED的偏振消光比(PER)由1.0:1.0大幅度提高为2.2:1.0。
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