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激光电镀是新兴的高能束流电镀技术，它对微电子器件和大规模集成电路的生产和修补具有重大的意义。目前，虽然激光电镀原理、激光消融、等离子激光沉积和激光喷射等方面还在研究之中，但其技术已在使用。
新兴的高能束流激光电镀工艺
【摘 要】
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激光电镀是新兴的高能束流电镀技术，它对微电子器件和大规模集成电路的生产和修补具有重大的意义。目前，虽然激光电镀原理、激光消融、等离子激光沉积和激光喷射等方面还在研究
【出 处】
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表面工程资讯
【发表日期】
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2007年6期
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