论文部分内容阅读
讨论了一个二驱动模型，分析气体在淀积过程中的反应机理，将气体的淀积过程分为各向同性和各向异性的结合,在此基础上提出一个LPCVD二维淀积模型，模型考虑了中间产物的作用，将粘滞系数转换为各向同性和各向异性（Runi／Rd）的比值，这个模型在结构上比较简单，计算方便，因此能得到与实际较为符合的结构．通过C语言编程将模型变为程序，使用线算法使得程序较为简单，计算速度非常快。利用该软件在给定的工艺条件下模拟得到符合实验数据的结果.