衬底对铟凸点织构的影响研究

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wallopczp

【摘要】

：

为研究衬底材料对所溅射的铟织构模式的影响,选用UBM(Under Bump Metallization)膜、InSb单晶和无定形PR(光刻胶)3种不同衬底材料磁控溅射铟,实验对比了3种衬底材料对铟织构

【作者】

：

刘豫东崔建国马莒生

【机构】

：

清华大学

【出处】

：

稀有金属材料与工程

【发表日期】

：

2003年8期

【关键词】

：

织构衬底铟凸点磁控溅射 texture substrate indium bump magnetron sputtering

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

为研究衬底材料对所溅射的铟织构模式的影响,选用UBM(Under Bump Metallization)膜、InSb单晶和无定形PR(光刻胶)3种不同衬底材料磁控溅射铟,实验对比了3种衬底材料对铟织构的影响.实验结果表明:铟的织构模式基本不受衬底材料的影响,其织构模式主要为强(101)丝织构和弱的(110)丝织构.这证明了铟的织构形成机理是典型的生长竞争机制.

其他文献

绿色金融在青岛近零能耗建筑中实践过程研究

在国家大力提倡发展绿色金融市场的背景下,以北方绿色金融示范城市青岛的近零能耗建筑绿色金融项目为例,探索了绿色金融业务在近零能耗建筑服务中的实践要点。TIS机构从近零

期刊

绿色金融近零能耗建筑风险控制机构:质量控制点建筑工程质量潜在缺陷green financenear zero energy buildingrisk

On Lu Xun’s Responsibility Consciousness in Literary Translation

In literary translation,Lu Xun shouldered the mission and responsibility to his motherland,the people,education,language,literature and art.In his opinion,forei

期刊

LuXunLITERARYtranslationRESPONSIBILITYCONSCIOUSNESSvaluePURSUIT

被遮蔽了的人的存在——从神学与科学对人的主体“身份”确认谈起

在西方哲学史上,＂存在＂问题自巴门尼德偈语式论述到海德格尔以＂存在＂与＂存在者＂区别为止的两千余年中一直是哲学的显题,现代哲学以存在论取代近代哲学的认识论,加深了对存在问题的

期刊

神学与科学遮蔽人的存在

Philosophical Implications of “A Community of Shared Future for Humanity”

A new concept contributing to global governance in the era of globalization,“A Community of Shared Future for Humanity(CSFH)”boasts rich philosophical implica

期刊

ACOMMUNITYofSHAREDFUTUREforHUMANITYUNITYofManandHEAVENnationalstate

前景理论视角下社会资本参与老旧小区增设电梯路径研究

社会资本参与对老旧住宅小区增设电梯工作推进具有重要意义,引导政府、小区居民和社会资本采用科学合理的策略,是吸引社会资本参与和提升合作效率的重要路径。以前景理论为支

期刊

老旧小区:增设电梯:社会资本前景理论:参与路径old residential communitiesinstalling elevatorssocial

新工科背景下建造管理人才能力需求与教育模式研究

根据建造管理专业的特点,对建筑业内不同利益相关者(教师、学生、企业)进行半结构访谈和问卷调查。基于统计学方法,凝聚出建造管理“新工科”人才的能力和教育模式重要维度,

期刊

新工科建造管理:人才能力:教育模式emerging engineering educationconstruction managementtalent

认知困境与信念伦理

克利福德认为任何人都不应该相信没有充分证据的东西,在信念形成过程中我们应该始终保持理智上的高度诚实和认真负责的态度,让信念跟证据相称,这是人类应该遵循的信念伦理。

期刊

克利福德原则认知不胜任零认知条件自证信念信念伦理

护理微信平台应用于脑梗塞患者康复护理的研究

目的探讨护理微信平台用于脑梗塞患者康复指导的效果。方法选取2018年4月至2018年9月期间我院收治的96例脑梗塞患者分为试验组(微信护理干预)和对照组(常规护理),每组48例,试

期刊

微信平台脑梗塞护理康复锻炼WeChat platformCerebral infarctionNursingRehabilitation exer

衬底对铟凸点织构的影响研究

其他学术论文