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编号：0503240 该专利是一种检测GaN基材料局域光学厚度均匀性的方法。
检测氮化镓基材料局域光学厚度均匀性的方法
【摘 要】
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编号：0503240 该专利是一种检测GaN基材料局域光学厚度均匀性的方法。
【出 处】
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科技开发动态
【发表日期】
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2005年3期
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