硅微ZnO压电薄膜传声器的研制

来源 :应用声学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：adu198612

【摘要】

：

本文介绍了一种利用ZnO压电薄膜为换能器的硅微压电薄膜传声器的制备,并且对微机械加工工艺过程进行了较为详细的描述.本文对传声器的部分结构进行改进,与通常设计相比较大幅

【作者】

：

杨楚威黄歆李俊红解述魏建辉马军汪承灏

【机构】

：

中国科学院声学研究所

【出处】

：

应用声学

【发表日期】

：

2003年5期

【关键词】

：

硅微压电薄膜传声器换能器 ZnO 微机械加工工艺性能频率灵敏度平坦度微机电系统 ZnO Silicon microphone Piezoelec

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本文介绍了一种利用ZnO压电薄膜为换能器的硅微压电薄膜传声器的制备,并且对微机械加工工艺过程进行了较为详细的描述.本文对传声器的部分结构进行改进,与通常设计相比较大幅提高了传声器的性能,1000Hz基准频率的灵敏度达到-85dB(相对于1V/Pa),500Hz到10000Hz的频率响应的平坦度在±3dB范围内.

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