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磁控溅射技术在刀具涂层中的应用
磁控溅射技术在刀具涂层中的应用
来源 :科技信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tangyanb
【摘 要】
:
磁控溅射作为一种应用广泛的真空镀膜技术,被普遍和成功地应用于许多方面,如材料表面处理、微电子、光学薄膜等,目前磁控溅射技术应用的领域还在不断扩展。
【作 者】
:
闫继超
【机 构】
:
河南煤炭建设集团有限责任公司焦作弹簧分公司
【出 处】
:
科技信息
【发表日期】
:
2009年22期
【关键词】
:
磁控溅射技术
应用
刀具涂层
真空镀膜技术
材料表面处理
光学薄膜
微电子
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磁控溅射作为一种应用广泛的真空镀膜技术,被普遍和成功地应用于许多方面,如材料表面处理、微电子、光学薄膜等,目前磁控溅射技术应用的领域还在不断扩展。
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