适用于极端环境的高精度压力传感器开发与标定

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lmwtzw0n9c9
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设计一种可应用于高温高压、强腐蚀性环境的压力检测传感器,以满足极端环境科学研究的需求.利用可耐高温高压、抗腐蚀、具有高屈服强度的钛金属作为传感器材料,采用组合式结构和特殊的圆膜片贴片与组桥技术,开发了适合于极端环境工作的钛压力传感器,并应用多维线性插值算法对传感器进行标定,以提高检测精度.实验检测结果表明,钛压力传感器在60MPa、400℃环境下的酸性或碱性溶液中都能正常工作,检测精度可以达到±0.2﹪FS以内,满足极端环境高精度压力检测需求.
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