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金刚石以其独特的性能成为辐射探测器的理想材料。采用HFCVD方法制备了高质量、（100）取向的CVD金刚石膜，在此基础上研制出X射线探测器。使用拍Fe5．9keVX射线研究了CVD金刚石膜探测器的光电流和电荷收集效率。结果表明，探测器在偏压加到100V还具有好的欧姆接触；电场为aokV·cm^-1时的暗电流与光电流分别为16．3和16．8nλ；电荷收集效率1为45．1％，对应的电荷收集距离6（CCD）为9．0μm。