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利用化学汽相沉积,在没有催化剂的p-si衬底上一步合成ZnO纳米线阵列,构成ZnO阵列/p-Si异质结.电流-电压性能测试显示该结构具有较好的整流特性,漏电流较小,4V时约为0.05mA.异质结理想因子偏高,1.86(0.5-2.25V)和5.92(在2.25-2.7V),主要原因可能ZnO纳米线阵列底与si之间存在较高的缺陷密度.提供了一种简单的合成ZnO阵列/p-Si异质结方法,不需要在si衬底上预先合成ZnO缓冲层和催化剂,同时结构具有较好整流性能,对ZnO器件的设计合成及应用有一定的参考价值.