电容式微机械陀螺敏感信号采样检测

来源 :中国惯性技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:july1126
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驱动轴与敏感轴的刚度耦合是硅微陀螺的机械耦合干扰是主要因素。敏感方向的电容对所有间隙变化进行检测,机械耦合造成了虚假的敏感信号输出,这种输出也会带来后续放大器的饱和问题。以往诸多相关检测方法,将敏感信号与耦合干扰一起送入乘法器。使有用的敏感信号的最后提取产生困难。文中分析指出存在干扰影响最小的可供对敏感信号采样时刻。这个采样时刻靠近敏感信号的峰值点。用取样积分的方法可以进一步提高信噪比。驱动电压也对敏感信号存在严重的干扰,因此使用了在采样时关断驱动信号的方法去除这种电气干扰。两方法结合减少了机械耦合干扰和
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