【摘 要】
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本文讨论几种光学系统的优缺点,这些系统均有潜力应付光学光刻技术所面临的挑战。
This article discusses the advantages and disadvantages of several optical systems
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本文讨论几种光学系统的优缺点,这些系统均有潜力应付光学光刻技术所面临的挑战。
This article discusses the advantages and disadvantages of several optical systems that have the potential to meet the challenges of optical lithography.
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