ITO陶瓷靶材的制备方法及研究现状

来源 :热加工工艺 | 被引量 : 0次 | 上传用户:windy_yuan
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介绍了ITO靶材的各种性能及应用,综述了目前常用的几种靶材成形方法和烧结工艺以及他们的研究现状,并对ITO靶材今后的发展趋势进行了展望。
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