应用SUPREM-Ⅲ进行集成电路扩散工艺模拟

来源 :考试周刊 | 被引量 : 0次 | 上传用户：smartdudu

【摘要】

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随着集成电路工艺的不断发展,工艺模拟软件功能也在不断地改善。本文以扩散工艺为例,同时在计算机上采用SUPREM-Ⅲ软件进行扩散初始条件的编辑和工艺模拟,并对结果进行比较分

【作者】

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赵怡然刘欢王健

【机构】

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沈阳化工大学信息工程学院,

【出处】

：

考试周刊

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

：

SUPREM 工艺模拟扩散工艺软件功能杂质分布工程计算结深方块电阻半导体器件扩散时间

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随着集成电路工艺的不断发展,工艺模拟软件功能也在不断地改善。本文以扩散工艺为例,同时在计算机上采用SUPREM-Ⅲ软件进行扩散初始条件的编辑和工艺模拟,并对结果进行比较分析,从而避免了扩散工艺复杂的工程计算。

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