【摘 要】
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用选择离子监测(SIM)方式测定了高纯三氟化氮(NF3)气体中痕量六氟化硫(SF6).采用poraPLOT Q毛细管色谱柱ψ30 m×0.32 mm×5 μm,选择m/z127作为定量离子,同时考察了
【机 构】
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中国船舶重工集团公司第七一八研究所
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用选择离子监测(SIM)方式测定了高纯三氟化氮(NF3)气体中痕量六氟化硫(SF6).采用poraPLOT Q毛细管色谱柱ψ30 m×0.32 mm×5 μm,选择m/z127作为定量离子,同时考察了NF3工艺气物流对所选离子的测定干扰情况.在浓度为2.0～100 μL/L范围内,峰面积与浓度呈线性关系,线性相关系数r=0.999 6.最低检测限为0.2μL/L,平均加标回收率为92.70%～97.04%,日内测定结果的sr＜4.17%,日间测定结果的sr＜5.33%.
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