InGaAs探测器的盲元分析及P电极优化

来源 :光子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sakuma556

【摘要】

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采用扫描电容显微镜分析了平面型PIN In（0.52）Al（0.48）As/In（0.53）Ga（0.47）As/In（0.52）Al（0.48）As短波红外探测器盲元产生的原因,利用半导体器件仿真工具Sentaurus TCAD对探测器中的盲元

【作者】

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邓洪海杨波夏辉邵海宝王强王志亮朱友华黄静李雪

【机构】

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南通大学电子信息学院,中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料和器件重点实验室

【出处】

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光子学报

【发表日期】

：

2018年3期

【关键词】

：

短波红外探测器 INGAAS 盲元比接触电阻 AU Short wavelength infrared detector InGaAs Blind pixel

【基金项目】

：

国家自然科学基金（No.61505090）, 南通市科技项目（Nos.GY12015010,GY12016024）, 南通大学自然科学项目（Nos.14ZY003,14ZY002,03080666,14Z003）, 江苏省六大人才项目（Nos.2016-XCL-052,2013-XCL-013）, 南通智能信息技术联合研究中心开放课题基金项目（No.KFKT2016A05）, 江苏省高校自然科学基

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采用扫描电容显微镜分析了平面型PIN In（0.52）Al（0.48）As/In（0.53）Ga（0.47）As/In（0.52）Al（0.48）As短波红外探测器盲元产生的原因,利用半导体器件仿真工具Sentaurus TCAD对探测器中的盲元特性进行了模拟,并利用制备的Au/P-In（0.52）Al（0.48）As传输线结构芯片对P电极的欧姆接触进行优化.研究结果表明,P电极与扩散区外的N^--In（0.52）Al（0.48）As帽层形成导电通道导致了盲元的产生,优化后Au与P-In（0.52）Al（

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