【摘 要】
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微泵作为微流控系统中的核心控制元件已成为MEMS研究的热点,现主要研究了无阀式压电微泵的工作原理及其动态工作特性.实验表明,无阀压电微泵的流速随频率呈抛物线关系变化,最
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微泵作为微流控系统中的核心控制元件已成为MEMS研究的热点,现主要研究了无阀式压电微泵的工作原理及其动态工作特性.实验表明,无阀压电微泵的流速随频率呈抛物线关系变化,最佳工作频率为1 250Hz.在频率固定时,微泵流速随驱动电压的升高而增加.泵膜的厚度对于微泵的性能影响很大,相同条件下,较薄的泵膜具有更高的流速,且泵膜越薄,其性能对于频率的变化越敏感.电压为50 V时,微泵最大流量可达1.695μL/min.总体看来,无阀压电微泵结构简单,驱动电压较低,性能稳定可靠.
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