质子交换LiTaO3光波导特性及晶格常数变化

来源 :发光学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xliang677

【摘要】

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采用气相质子交换方法,在Z-切LiTaO3晶体表面制备平面光滑波导层.样品制备采用245℃苯甲酸气体,在LiTaO3晶体在-C和+C表面交换8～20小时.质子交换层在LiTaO3表面形成,并用棱镜

【作者】

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马少杰廖燕平邓文渊张红坡李玉善刘弦

【机构】

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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,深圳赛格集团

【出处】

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发光学报

【发表日期】

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2001年4期

【关键词】

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质子交换光波导 LITAO3 晶格常数钽酸锂晶体 proton-exchanged waveguide LiTaO3 lattice constant

【基金项目】

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国家自然科学基金

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论文部分内容阅读

采用气相质子交换方法,在Z-切LiTaO3晶体表面制备平面光滑波导层.样品制备采用245℃苯甲酸气体,在LiTaO3晶体在-C和+C表面交换8～20小时.质子交换层在LiTaO3表面形成,并用棱镜耦合测量波导样品.然后在HF:HNO3酸中用化学方法腐蚀波导层,并用电子显微镜观测光波导层与衬底界面的形貌.用X射线衍射法,测量LiTaO3质子交换光波层的晶格常数变化.用双晶X射线测量质子交换(PE)和退火质子交换(APE)波导层晶格常数的变化.样品的X射线衍射曲线表明,PE和APE波导晶格常数的变化不同.实验

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